Các phoi hiệu chuẩn hoặc 'shims' là cách phổ biến nhất để tạo ra lớp phủ có độ dày tiêu chuẩn trên cơ chất vật liệu, bề mặt hoàn thiện. Đây là phương pháp lý tưởng cho điều chỉnh, hiệu chuẩn máy đo độ dày lớp phủ để đảm bảo có độ chính xác cao.
Các đặc điểm:
- Các giá trị theo đơn vị Metric và Imperial trên từng phoi
- Có các giá trị riêng rẽ hoặc theo từng bộ
- Mỗi phoi để có đánh số để nhận dạng
- Có các độ dày từ 12.5µm tới 25mm (0.5 tới 980mils)
Các phoi có độ chính xác là ±1%. Các phoi dưới 50µm (2.0mils) có độ chính xác là ±0.5µm (0.02mil).